美國(guó)對(duì)大陸內(nèi)存廠商福建晉華發(fā)布禁售令，重創(chuàng)中國(guó)的半導(dǎo)體美夢(mèng)，中國(guó)當(dāng)局或許打算另辟蹊徑，強(qiáng)化半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)。近來韓國(guó)內(nèi)存大廠SK海力士(SK Hynix)，在中國(guó)無錫廠引進(jìn)了DUV(deep ultraviolet、深紫外光)光刻設(shè)備。韓媒揣測(cè)，中國(guó)對(duì)韓國(guó)內(nèi)存業(yè)者啟動(dòng)反壟斷調(diào)查，韓廠或許被迫引進(jìn)高科技設(shè)備討好北京當(dāng)局，以免慘遭修理。

韓媒BusinessKorea 2日?qǐng)?bào)導(dǎo)，上個(gè)月SK海力士在中國(guó)無錫廠舉行DUV設(shè)備的導(dǎo)入典禮，將用來生產(chǎn)DRAM。新設(shè)備是荷蘭半導(dǎo)體光刻設(shè)備商艾司摩爾(ASML)的“NXT2000i”，一臺(tái)要價(jià)數(shù)千萬到數(shù)億美元之間，這是ASML NXT2000i首次引進(jìn)中國(guó)。ASML不向中國(guó)販?zhǔn)圩钚略O(shè)備。

DUV沒有EUV(極紫外光)先進(jìn)，但是ASML說，裝設(shè)在無錫廠的NXT2000i是最新機(jī)型，能把曝光過程的錯(cuò)誤減到最低，并且能和最先進(jìn)的EUV設(shè)備NXE3400B共同使用、創(chuàng)造綜效。外界猜測(cè)，SK海力士未來也許有意在無錫廠導(dǎo)入EUV設(shè)備。不過SK海力士高層表示，目前EUV設(shè)備主要用于生產(chǎn)系統(tǒng)半導(dǎo)體，在無錫廠采用EUV生產(chǎn)內(nèi)存還言之過早。

有些分析師指出，SK海力士在大陸引入高科技設(shè)備，與中國(guó)當(dāng)局的反壟斷調(diào)查有關(guān)。去年底，北京對(duì)三星電子、SK海力士、美光進(jìn)行反壟斷調(diào)查并表示出現(xiàn)實(shí)質(zhì)進(jìn)展，最多可能處以80億美元的罰款。不只SK海力士害怕遭天價(jià)罰金，三星也緊張。分析師說，三星電子關(guān)閉了天津的智能手機(jī)工廠，但是為了和中國(guó)政府維持良好關(guān)系，三星集團(tuán)的Samsung SDI和三星電機(jī)(Samsung Electro-Mechanics)都加強(qiáng)對(duì)中國(guó)投資。